河南昌达智能装备有限公司取得钻石生成专机专利,具有结构紧凑的特点
发布时间:2024-09-27 01:30 浏览量:2
金融界2024年9月26日消息,国家知识产权局信息显示,河南昌达智能装备有限公司取得一项名为“一种钻石生成专机”的专利,授权公告号CN 221759978 U,申请日期为2024年2月。
专利摘要显示,本实用新型属于CVD单晶金刚石制备技术领域,尤其涉及一种钻石生成专机。一种钻石生成专机,包括机架,反应腔单元包括设置在机架上的底座、在底座上设置的沉积台及密封盖,微波发生单元包括用于对反应器加热的微波发生器;冷却单元包括固定穿设在底座内并延伸至反应腔内的进水管、在进水管上端设置的支撑盘、在进水管内穿设的回水管,真空发生单元包括真空泵,顶升单元包括在回水管内穿设的调整杆及驱动调整杆上下运动的驱动机构,调整杆的上端部延伸至回水管上方并固定嵌设在沉积台内,供气单元包括气瓶及连接在密封盖上以用于对反应腔内通入反应气体的通气机构。本实用新型具有结构紧凑、单次制备钻石晶片数量多、可调整沉积台高度的优点。