最“壕”院士，他用白金修理自动门丨科学家日历

1977年11月，中国科学院半导体所将“开展影响大规模集成电路成品率和可靠性主要因素的研究，为巨型计算机研制高质量、高水平的集成电路”列为重大科研项目。

半导体所的同志们夜以继日地奋战，然而，经过一年的攻关，在制作4千位MOS动态随机存储器时却遇到了困难——成品率始终提高不上来，进展缓慢。

这时，一位科学家临危受命，仅用不到一年的时间，不仅解决了大规模集成电路的研制问题，还制定了科学严格的生产研发规章制度。他就是中国半导体科学奠基人之一、半导体器件物理学家、中国科学院院士王守武。

王守武院士

来源丨中国科学家博物馆

1978年10月，王守武在科研环境不利的条件下接手工作，开始全面负责4千位MOS动态随机存储器的研制任务，猛攻成品率。 当时他就提出了“不仅要研制成功样品，还要有一定的成品率”。

王守武首先分析了成品率低下的原因，然后有针对性地制定了解决方案。

刚着手时，他就遇到一个棘手问题——超净区入口处的风淋浴室的门经常坏。

按照要求，每个工作人员进入超净区前必须经过40秒钟的风淋浴。但当时风淋浴室的门的质量不过关，经常发生故障，使人员总被闭锁在风淋浴室里，因此有人把自动控制门改为手动开关。虽然人员进出方便了，但是很难保证每人都能经过40秒钟的风淋浴才进入超净区。

王守武要求把自动控制门修好，但是电工班的修理人员束手无策。于是他就亲自动手修理。经过分析，王守武发现故障主要发生在一个继电器的接触点上，是接触材料没有过关。于是他想到用白金来做接触点材料，因为白金的熔点很高，在高温下不易氧化。

果然，自从王守武把两片白金焊接在接触点上以后，自动门就再也没有出现过故障。

1979年王守武在超净线工作

来源丨中科院半导体研究所

王守武还坚持严格工艺检查，他认为只有每道工序都检查，找毛病，解决问题后才能提高成品率。一开始，一些工人不习惯于严格操作，王守武为此做了大量的思想工作。 工作中，王守武更是以身作则，每天都是早来晚走，经常在超净线内一待就是几个小时甚至十几个小时。

在他严谨的科研作风带动下，超净线里的风气焕然一新，科研人员各司其职，严格把关，工人认真操作，一丝不苟。 最终，研究团队的努力取得了良好的效果，4千位N沟MOS动态随机存储器管芯的成品率终于有了大幅提高。

1979年9月28日，我国4千位MOS动态随机存储器研制成功，批量成品率达20%以上，最高达40%，为国内最高水平。

从1978年10月到1979年9月，王守武团队共做出大规模集成电路三种版图的样品104个，从1979年10月到11月连续八批正式投片做出成品275个，获得了20%以上的管芯成品率，并且进行了可靠性摸底试验。

4千位MOS动态随机存储器研制成功这一重要突破，不仅在1980年荣获中国科学院科技成果奖一等奖，更重要的是，结束了我国不能制造大规模集成电路的历史！

来源丨中国科学家博物馆

热爱祖国，为国奉献的情怀贯穿了王守武的一生。就像他在11岁时刊登在校刊《民智》上面的话：“努力救国，努力富国，努力强国”。

机床是用来加工金属和其他硬质材料的机械设备。它通常包括一个稳定的床身和一个或多个工具，可以通过切削、磨削、钻削等方式将原始材料转化为所需的形状和尺寸。以下是几种常见的机床类型：

参考资料：

[1]李艳平,康静,尹晓冬.硅芯筑梦：王守武传[M]中国科学技术出版社，2015.1.

[2]中国半导体研究的“拓荒者”——记1979年全国劳动模范、中国科学院院士王守武[J].工会博览,2019,(24):45-48.

中国科学家博物馆出品