国产光刻机突破在即！这5家龙头企业迎来黄金发展期

全球半导体设备市场迎来新一轮增长周期，2025年二季度出货金额达到330.7亿美元，同比增长24%，在这股浪潮中，中国光刻机产业链正悄然崛起。

随着美国持续加大对华半导体设备出口管制，国产替代成为核心逻辑，反而为国内企业提供了难得的市场机遇。到2028年，先进工艺设备的资本支出将激增至超过500亿美元，与2024年投资的260亿美元相比，大幅增长94%。

全球半导体产业正迎来新一轮增长周期。2025年二季度全球半导体设备出货金额达到330.7亿美元，同比增长24%。

人工智能基础设施成为2025年市场上最稳定的赢家之一，英伟达、博通、台积电和美光科技推动了今年芯片指数65%以上的涨幅。

国际半导体产业协会数据显示，全球半导体制造业预计将保持强劲增长势头，预计从2024年底到2028年，产能将以7%的复合年增长率增长，达到每月1110万片晶圆。

推动这一增长的关键因素是先进工艺产能（7纳米及以下）的持续扩张，预计将从2024年的每月85万片晶圆增长到2028年的历史新高140万片晶圆，增长约69%。

目前，全球光刻机市场由ASML主导。2023年ASML供给了全球92%的高端光刻机（ArF、ArFi、EUV），在EUV市场更是唯一具备量产能力的公司。

未来，ASML仍将继续主导高端光刻机市场，EUV收入占比将超60%。但中国企业正在逐步崛起，虽然目前光刻机国产化率几乎为零，但随着中国企业在技术上的不断突破，未来有望在全球市场中占据一席之地。

上海微电子是国内唯一能量产前道光刻机的企业，承担着国家“02专项”的重任。2025年其28nm浸没式光刻机将量产交货，国产化率超70%。

预计到2030年，中国28nm DUV光刻机国产化率将从2025年的15%提升至40%，中国光刻机产业正在迎来前所未有的发展机遇。

通过参股上海微电子，张江高科深度参与了国产光刻机整机研发。2025年第二季度，张江高科实现营收4.84亿元，毛利率高达58.68%。

作为国内唯一能量产前道光刻机的企业，上海微电子28nm浸没式光刻机的量产交货将为张江高科带来持续价值增长。

茂莱光学是DUV光刻机镜头核心供应商，供应上海微电子投影物镜系统，单机价值超5000万元。2025年新增订单同比翻倍，适配28nm制程升级需求。

2025年上半年，茂莱光学实现营收3.19亿元，同比增长32.26%；净利润3275.55万元，同比大幅增长110.36%。公司毛利率高达49.65%，同比小幅增长1.98%。

福晶科技是全球激光晶体龙头，KBBF晶体良率超90%，产品应用于ASML及国产光刻机光源系统。2025年光刻机镜头收入占比达40%。

公司在DUV光源模块领域实现非线性光学元件技术突破。2025年第二季度，公司实现净利润7823.36万，同比增长27.67%；毛利润为1.46亿，毛利率52%。

波长光电是国内精密光学元件主要供应商，成功开发的光刻机平行光源系统已交付多套用于接近式掩膜芯片光刻工序。

公司光刻机平行光源系统支持65nm以下工艺，2025年产能预计扩至500台/年，覆盖DUV/EUV需求。9月17日，波长光电涨停，最新股价为88.12元。

苏大维格作为国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，向上海微电子提供了半导体领域投影式光刻机用的定位光栅尺部件，在关键器件领域实现重要突破。

2025年第二季度，公司实现营收5.29亿元，毛利率19.33%。近7个交易日，期间整体上涨16.51%，表现活跃。

从2025年中报数据来看，光刻机与芯片概念相关企业表现出较强的盈利能力。以下是部分企业2025年中报净资产收益率（ROE）数据：

| 公司名称 | ROE（2025中报） | 核心业务 |

| 芯碁微装 | 6.66% | 直写光刻设备 |
| 同飞股份 | 6.49% | 光刻机温控设备 |
| 新莱应材 | 5.39% | 光刻机真空及气体系统 |
| 江丰电子 | 5.44% | 光刻机核心冷却部件 |
| 茂莱光学 | 2.75% | 光刻机光学组件 |

表：光刻机概念股ROE排名

同飞股份作为光刻机恒温控制系统龙头，提供±0.1℃精密温控方案，产品覆盖EUV/DUV设备冷却需求。2025年第二季度，公司实现净利润6298.81万，同比增长272.7%；毛利润为1.53亿，毛利率22.16%。

新莱应材是半导体真空系统核心供应商，产品通过ASML认证，2025年光刻机相关业务收入预计达15亿元，同比增长45%。

从投资角度看，光刻机产业链值得长期关注。国产替代是核心逻辑，美国持续加大对华半导体设备出口管制，反而为国内企业提供了难得的市场机遇。

建议关注光刻机核心零部件供应商，如茂莱光学、英诺激光、苏大维格、芯碁微装等。这些企业在关键细分领域具有技术优势，有望率先受益于国产替代进程。

技术进步是另一条投资主线。随着上海微电子28nm浸没式光刻机的量产交付，相关供应链企业将获得实质性订单支撑，业绩有望大幅提升。

投资者也需注意相关风险：一是技术更新风险，光刻技术迭代迅速，企业需持续研发投入保持竞争力。

二是市场需求波动风险，半导体行业具有周期性，设备需求可能随行业周期波动。

三是供应链风险，尤其是高端材料和技术仍依赖进口的部分环节。

四是估值风险，部分概念股估值已较高，需警惕估值回归风险。

机构指出，2026年底，中国12英寸晶圆厂的总月产能有望从2023年的217万片（规划产能）增长到超过414万片。

人工智能发展大幅提升国内先进制程产能需求。芯片生产线建设中，光刻机购置成本最高，达到设备总投资的21%—23%。

随着国内晶圆厂建设潮和AI快速发展带动国产光刻机需求持续攀升，这些龙头企业有望在突破海外技术壁垒及国产替代进程中持续发力，为我国半导体产业高质量发展注入强劲动能。