哈尔滨智圭光电申请一种蓝宝石晶片研磨装置及研磨方法专利，提升蓝宝石双面研磨机的稳定性
发布时间：2024-12-20 10:12 浏览量：2
金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，哈尔滨智圭光电科技有限公司申请一项名为“一种蓝宝石晶片研磨装置及研磨方法”的专利，公开号CN 119141435 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，一种蓝宝石晶片研磨装置及研磨方法，属于蓝宝石双面研磨加工技术领域，本发明为了解决现有蓝宝石晶片在进行双面研磨时由于研磨液的流量不稳定，导致研磨盘的盘面平整度有所变化，影响后续蓝宝石晶片的加工质量的问题，本申请在传统双面研磨机的基础上增加了研磨液补充单元、研磨液输送单元和研磨液回收单元，可以实现在找粗研磨过程中稳定研磨液的工作流量，提升了蓝宝石双面研磨机去除率性与粗糙度的稳定性，同时也可以在找粗研磨过程中当研磨液不足时进行及时补充，在下厚研磨过程中利用找粗研磨时所用的研磨液进行二次研磨，对下厚研磨液进行定量，使每个批次的蓝宝石晶片去除率相同，有利于稳定蓝宝石晶片质量，本申请用于对蓝宝石晶片进行研磨。