上海华力申请稳定研磨速率的方法专利，稳定研磨速率

发布时间：2025-04-24 17:23 浏览量：39

金融界2025年4月24日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司申请一项名为“一种稳定研磨速率的方法、研磨方法”的专利，公开号CN119795026A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明提供一种稳定研磨速率的方法、研磨方法，稳定研磨速率的方法包括：对待更换的钻石盘执行钝化步骤；使用完成钝化步骤的钻石盘进行第一制程中的研磨工序；其中，钝化步骤包括：使用待更换的钻石盘进行第二制程中的研磨工序，并持续预定时间，以使得钻石盘的打磨效率进入稳定区间。如此配置，通过对待更换的钻石盘执行钝化步骤，使用待更换的钻石盘先进行第二制程的研磨工序预定时间，将原本锋利的钻石盘钝化，以使得钝化后的钻石盘的打磨效率进入到稳定区间，保证钻石盘能够有效打磨研磨垫，将研磨垫上的孔隙打开，稳定研磨垫的软硬程度，进而稳定研磨速率，增加机台的跑货时间并保证产品的良率，减少原材料的损失和能源的消耗。