航科新世纪申请一种以蓝宝石为内导体支撑层的微同轴传输线的制备方法专利，提高了微同轴传输线的制备效率

金融界2024年12月19日消息，国家知识产权局信息显示，航科新世纪科技发展（深圳）有限公司申请一项名为“一种以蓝宝石为内导体支撑层的微同轴传输线的制备方法”的专利，公开号CN 119133819 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种以蓝宝石为内导体支撑层的微同轴传输线的制备方法，包括：在第一蓝宝石晶圆表面激光加工形成蓝宝石内导体支撑层；在蓝宝石内导体支撑层上形成第一内导体层和第一外导体层，在第一外导体层上形成第一顶盖层；将第二晶圆与第一顶盖层键合，并对第一蓝宝石晶圆进行减薄直至蓝宝石内导体支撑层暴露出来；在蓝宝石内导体支撑层上远离第二晶圆的一侧形成第二内导体层和第二外导体层，在第二外导体层上形成第二顶盖层；去除第一牺牲层、第二牺牲层和第二晶圆，形成微同轴传输线。本申请以蓝宝石晶圆作为制备基底，并直接在蓝宝石晶圆上形成蓝宝石内导体支撑层，确保内导体支撑层更加牢固，不易变形，提高了微同轴传输线的制备效率。